分子汚染、粒子、繊維のワイプテスト

クリーンルームの粒子テストと繊維計数は、糸くずの少ないワイプ、織物、またはその他のクリーンルーム材料から放出される空気中の粒子、繊維、およびその他の放出を測定します。

粒子試験方法は、中程度の機械的ストレスの条件下で、濡れた状態のワイパー（またはその他の材料）から放出された粒子と繊維の抽出と計数について説明します。

クリーンルームワイプ評価クイックリンク

— 粒子状物質 | 繊維試験方法

— イオン汚染、微量金属および重金属汚染

— クリーンルーム内の非揮発性残留物（NVR）

— 微生物学的検査および発熱物質検査

— 医療機器の拭き取りと電子機器のプロファイル

— ASTM、IEST、ISO 組織向けのワイプ試験規格

液体粒子計数（LPC）ワイプ粒子試験

試験内容: 中程度の機械的ストレス条件下でのワイパーおよびその他の材料からの粒子放出

粒子計数装置や顕微鏡による計数のためのサンプル調製は、ISO 5クリーンルームで始まります。管理された環境により、外来汚染による偽陽性の発生を防ぎます。この環境は、滅菌手順に必要な環境と同等です。ラミナーフローフードは、HEPAフィルターを通した空気を作業面上に送り出し、作業エリアから微量汚染物質を除去します。

LPCが上記のように設定されると、ユニットはビーカーから10mLの液体を採取し（LPCの一部である液体サンプリングシステムを使用）、粒子濃度を測定します。ユニットはこのプロセスをさらに3回繰り返します。ソフトウェアは最初の測定値を破棄し、2番目、3番目、4番目の結果を平均し、設定されたすべての閾値（チャネル）範囲における1mLあたりの累積粒子数と差分粒子数を報告します。

テックスワイプ TM22 6.2

液体粒子カウンタ（LPC）は、小さな粒子によって散乱された光を検出します。光は電気信号に変換されます。粒子は光を吸収するため、装置は返されたレーザー波長と光の形状を推測することで粒子を検出します。

液体粒子カウンターの限界

歴史的に、粒子検査装置の限界により、液体中の粒子数は1mLあたり合計10,000個までに制限されていました。より多くの粒子数を含むサンプルには、適切な希釈が必要でした。

顕微鏡による微粒子の計数方法

走査型電子顕微鏡（SEM）は、IEST-RP-CC004に記載されている二軸振盪法を用いてワイプサンプルを撹拌・攪拌した後、サンプル数を数えることを可能にします。サンプルは濾過・乾燥後、光学顕微鏡下で繊維数を評価します。

粒子計数にSEM計測を使用すると、サンプル準備中に放出された粒子の数を非常に正確に識別できるほど感度の高い方法が提供されます。3–5ただし、実際の使用条件に近い方法でテストサンプルを準備する方法が問題であり、さらなる研究が必要でした。

クリーンルームワイパー試験のためのサンプル調製技術の評価 1997

試験方法1.2) 繊維の定量は、20～100µmと100µmを超える2つの範囲で実施します。抽出後、繊維は格子状のろ紙上に捕捉され、乾燥後、光学顕微鏡下で計数されます。テックスワイプ試験法（TN22）

このテストの課題は、超純粋な抽出システムを維持することです。

試験方法6.1): 粒子がフィルターのろ過面全体に均一に分布していない場合は、新しいサンプルを調製する必要があります。正確な定量には、フィルター全体にわたる粒子の均一な分布が不可欠です。Texwipe試験方法 (TN22)

液体中の粒子と繊維の数を計測する顕微鏡ベースの測定技術

試験概要: クリーンルームワイパーの包括的な粒子および繊維試験 1998年11月/12月

電子顕微鏡を使用すると、液体粒子数を評価するための LPC や、空気中の粒子数を評価するために使用される APC では検出できない粒子を数えることができます。

Texwipe などの PAC ベンダーによる新しいワイパー汚染テストでは、単一のサンプル準備内で粒子と繊維の数を数えるための改善された方法が紹介されています。

この手順では、あらゆるサイズの粒子を単一のサンプル調製で計数できるため、粒子と繊維の別々のサンプル調製は不要です。この調製では、ワイパーを低表面張力の洗浄液に浸漬して撹拌し、粒子を含んだ液を微多孔膜フィルターでろ過します。

次に、フィルターを走査型電子顕微鏡（SEM）のスタブに取り付け、光学顕微鏡を用いて粒子分布の均一性をまず検査します。均一性が確認されると、この段階で大きな繊維も計数されます。次に、サンプルスタブをSEMに移し、異なるサイズの粒子を異なる倍率で計数します。得られた計数の精度と正確性は統計的に測定されます。